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材料(符號)

純   度

形   狀

最大尺寸

錫(Sn)靶

3N

旋轉(zhuǎn)靶

OD350x4000mm

鎳鉻(Ni80Cr20)合金靶

3N

平面靶

800x200mm

銀(Ag)靶

4N

平面靶/ 旋轉(zhuǎn)靶

1000x300mm/ OD350x4000mm

鉻(Cr)靶

2N5/3N5

平面靶

600x200mm

鈦(Ti)靶

2N5

平面靶/ 旋轉(zhuǎn)靶

1500x300mm

鋅錫(ZnSn)合金靶

2N5

旋轉(zhuǎn)靶

OD350x4000mm

鋅鋁(ZnAl)合金靶

3N

旋轉(zhuǎn)靶

OD350x4000mm

石墨(C)靶

4N

平面靶

1000x300mm

硅鋁(SiAl)合金靶

3N5

平面靶/旋轉(zhuǎn)靶

300x200mm

AZO靶

3N

平面靶

300x110mm

鋁(Al)靶

3N

平面靶/旋轉(zhuǎn)靶

1500x300mm/ OD350x4000mm

不銹鋼靶

-

平面靶/旋轉(zhuǎn)靶

1500x300mm/ OD300x4000mm